INVINSCAN 3D振镜
高性能数字驱动扫描模组；
高精：重复精度<2urad；
均匀：在1064nm波段特别设计了焦距为254mm的光学系统，全幅面加工范围内聚焦光斑的直径误差可做到小于2%
所属分类
高精密振镜
关键词:
3D振镜
高精密振镜
振镜
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INVINSCAN 3D振镜
产品信息
典型应用
主要配置
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主要配置 |
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参数 |
型号 |
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A1064-14 |
A355-14 |
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振镜参数 |
通光孔径 |
8mm |
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跟随误差 |
0.3ms |
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标刻速度 |
3000mm/s |
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定位速度 |
7000mm/s |
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1%全行程 |
0.65ms |
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10%全行程 |
1.6ms |
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重复精度 |
< 2µrad |
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增益漂移 |
< 80ppm/K |
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零位漂移 |
< 15µrad/K |
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8小时漂移 |
< 0.3mrad |
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非线性度 |
< 0.4% |
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接口协议 |
XY2-100 |
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| 扫描角度 |
±12.5° |
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动态变焦系统参数 |
系统入射光斑 |
7mm |
<2.8mm |
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扩束比 |
1.4 |
5 |
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变焦范围 |
±30mm |
±20mm |
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光学参数 |
波长 |
1030-1070nm |
355nm |
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最大承受功率 |
100W |
25W |
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工作范围 |
150*150① |
150*150② |
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基本参数 |
电源要求 |
±15VDC, ≥5A |
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工作温度 |
25±10℃ |
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注：① 配175-254定制场镜，焦距254mm
② 适配180-300定制场镜，焦距300mm
典型应用
INVINSCAN 3D振镜可用于脆性材料切割、纹理、表面处理、深雕浮雕、3D打印等。
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